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MICRO-EPSILON干扰测量仪IMS5600-DS系列
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产品: 浏览次数:3MICRO-EPSILON干扰测量仪IMS5600-DS系列 
品牌: MICRO-EPSILON
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最后更新: 2023-10-11 11:37
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详细信息
   新型白光干涉仪 IMS5600-DS 用于*高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估功能的特殊校准,并可实现亚纳米分辨率的*对测量。干涉仪用于具有*高精度要求的测量任务,例如电子和半导体生产中。
  特征
  亚纳米*精度的距离测量
  *流:分辨率 < 30 皮米
  *对测量,适用于台阶轮廓
  紧凑而坚固的传感器,具有大偏移距离
  测量速率高达 6 kHz,可实现高速测量
  通过网络界面轻松配置
  适用于真空的传感器和电缆
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